主要特点

        波前曲率传感器压电驱动微动平台，装配CCD相机

        光束方向快速移动

        临近位置光束剖面/形貌分析

        波前推导CCD像素级分辨

        光束传播参数分析（M2、瑞利长度、束腰直径）

        Zernike分析畸变控制

        采用自我参考法

        无光束相干要求

        紧凑式设计，在线检测

操作原理

波前曲率传感器技术规格

        CCD相机USB3.0通讯

        空间分辨率<10um

        多种传感器覆盖光谱范围：1100nm (NIR) to 1nm (soft x‐rays)

        实时波前分析

        测试依据ISO标准

光束测试软件

测试基于ISO标准