主要特点

       波前曲率传感器压电驱动微动平台，装配CCD相机

       光束方向快速移动

       临近位置光束剖面/形貌分析

       波前推导CCD像素级分辨

       光束传播参数分析（M2、瑞利长度、束腰直径）

       Zernike分析畸变控制

       采用自我参考法

       无光束相干要求

       紧凑式设计，在线检测

操作原理

波前曲率传感器技术规格

       CCD相机USB3.0通讯

       空间分辨率<10um

       多种传感器覆盖光谱范围：1100nm (NIR) to 1nm (soft x‐rays)

       实时波前分析

       测试依据ISO标准

光束测试软件

测试基于ISO标准