主要特点

       Hartmann波前传感器（相干和非相干辐射）

       紧凑结构

       光化性能检测

           -EUVL 等离子源

           -自由电子激光

           -HHG高次谐波束

       实时光学调整

       单个脉冲重复性：λ/116 (wrms)，for EUV (λ =13.5 nm)

技术规格

       波长范围：<1nm~60nm（量子转换涂层）

       视场：9mmX6.7mm（可选更大尺寸）

       动态范围：14Bit

       Hartmann 盘：precision pinholes Ø75μm, 250μm pitch

       倾角：±10°

       XY调节范围：±10mm

       UHV兼容：CF63法兰

Wavefront measurement of Free Electron Laser FLASH

(DESY/Hamburg) at λ=13.5nm, before (above) and after

(below) adjustment of beam line optics (B. Flöter, K.

Mann, K. Tiedtke et al. NIM A 635, S108–S112 (2011) )

Spot pattern @ λ=1.5 nm

(LCLS / Stanford)

Reconstructed intensity profile

光束测试软件

测试基于ISO标准

巨力光电（北京）科技有限公司立足于北京市副中心通州区，专门经销欧洲、美国、日本等国家制造的科学仪器设备，为客户提供完备的售前咨询和售后服务、技术支持。公司骨干在该行业有超过10年的经验，专业的服务水平、完善的售后服务体系。

目前主要产品涉及材料科学、微纳米技术、表面测量和光电器件、光伏产品、半导体器件的检测与研发等领域。公司本着以科技为导向、以客户为中心、以服务为宗旨，竭诚为新老客户提供优质的服务！