kSA SpectR 光谱反射率测试设备是一种用于测量光谱绝对反射率，L*a*b*成色值和生长速率的非接触式测量设备。该工具具有多种在线监控和过程控制的应用功能，包括垂直腔表面发射激光器（VCSEL），分布式布拉格反射器（DBR）和其他一些复杂的设备结构。该设备主要应用于监控测量sputtering，MBE和MOCVD等薄膜生产研究。

kSA SpectR 光谱反射率测试设备的光学镜组被配置为镜面反射的几何形状。在这种测量原理中，薄膜每生长出一个新layer，程序就会自动拟合，将已有的所有基底和薄膜layer视为一个新的虚拟基底。kSA SpectR可以同时以多个波长进行测量，每个波长都具有潜在的特性。此设备可在选定的波长范围内测量自定义光谱特征，如反射率的最小值、最大值、拐点或基线散射水平。

测量实例

850 nm DBR的光谱反射率

在GaAs衬底上生长250nm的AlAs和500nm的GaAs时，532和940nm下的反射率及其拟合曲线

AlAs生长期间的生长速率，光学常数和反射率实时拟合曲线

AlAs和GaAs生长的未经校正的高温计测量结果和经过校正的ECP温度

GaAs薄膜生长过程中单个反射率振荡周期图