在线X射线荧光膜厚测量仪

厂家：k-Space Associates, Inc.

型号：kSA XRF

技术介绍

对于膜层厚度较薄的金属薄膜和介电薄膜，光学方法测量其厚度显得不是很可靠。kSA XRF 在线X射线荧光膜厚测试设备的推出主要就是为了解决该问题，它可以在线测量许多不同材料基底（例如：玻璃和太阳能电池组件）上的薄膜厚度。

设备详情

• 配备保护性定制框架外壳，放置X射线源和探测器。

• 该设备桥接了输送线，以便于设备安装和工厂用户对系统的访问。

• 当 X 射线源正在使用时，会有警示灯闪烁提示。

• 配备面板的前/后边缘光电检测器，用于触发设备自动启停。

• 柜式控制器提供数据处理及存储功能。

• 配备小型灯塔用于指示检测情况。

产品优势

• 某些较薄的介电薄膜，光学方法难以测量其厚度，如低于100nm厚度薄膜；在这种情况下，kSA XRF 在线X射线荧光膜厚测试设备可以很好地测量。

• 可在多种基板上测量金属薄膜厚度。

• 实时数据采集，检测薄膜厚度缺陷并进行在线反馈。

• 软件功能可定制，用户可以依据特定要求设置。

• 检测过程中可对质量控制进行验证，以确保涂层厚度在公差范围内。

• 工厂集成功能：使工厂用户能够将计量整合到现有系统（工厂警报、PLC、电子邮件警报等）中。

• 操作便捷，几乎不需要额外设置，只需操作员定期进行设备校准。

工作原理

• 该系统由一个带有高压发生器的 X 射线管和一个 X 射线探测器系统组成。

• 其 X 射线检测系统组合了固态探测器、放大器、脉冲高度分析仪和多通道分析仪。

• 光谱仪能量校准后，系统自动识别 X 射线光谱峰值，并收集峰值强度以进行进一步处理。

• 该工具可根据客户的薄膜配方和测量需求测量对应的原子种类。

软件功能

• 使用专有的 k-Space 软件测量，分析和存储数据。

• 可与现有质量控制系统对接通讯。

• 利用光电检测器的触发器启动和停止数据采集。

• 专为典型的玻璃和太阳能电池板输送速度而设计。

• 全自动化，能够与工厂自动化通信对接。

• 报警信号可便捷的自定义配置。

• 单个检测头可以放置在面板宽度上的任何位置，并且可选配使用多个检测头。

• 厚度测量范围为 0~500 nm±1 nm，灵敏度和测量不确定度取决于被测元素。

软件截图