详细说明：

桌面型原子层沉积系统由哈佛大学纳米科学中心薄膜沉积工艺研究科学家Dr. Philippe de Rouffignac设计，基于多年纳米薄膜制备的经验以及对科研工作者切实研究需要的了解，推出了此桌面型原子层沉积系统。

主要特点：
1.腔室专为R&D设计和优化，样品尺寸达直径4’’,可升级至6''；
2.反应腔温度可控范围：RT-350℃；
3.前驱体源温度可控范围：RT-150℃；
4.腔室处理压力可控范围：0.1-1.5 torr；
5.源扩展多达5个；
6.快速循环处理功能；
7.气路优化设计、腔体小型化设计；
8.一分钟多达6-10；
9.成熟的薄膜Recipes内置程序；
10.触屏PLC控制；
11.可配套手套箱使用；
12.可配备臭氧发生器；

13.可定制样品夹具；

14.相比于市场上同类产品体积相对偏小，可以放置在净化间；

15.可实现前驱体剂量的控制。

可处理材料：