k-Space宽带隙半导体原位温度监测系统与Veeco取得合作

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k-Space CEO Darryl Barlett：“ k-Space和Veeco在分子束外延（MBE）沉积市场上有着长期成功的合作伙伴关系。我们与Veeco紧密合作，提供了直接与Veeco的控制软件进行通讯的现场测量工具，从而为终用户提供了对其沉积过程的完整监控。我们很高兴在此多沉积腔室VeecoGEN200®MBE系统上集成多种半导体薄膜测量设备”

1.kSA UV BandiT设计用于在高温计无法测量的范围内对宽带隙半导体进行原位温度监测，包括在红外和可见光波长范围内透明的基板的温度。 kSA UV BandiT通过基于带边的吸收光谱在200-500 nm范围内监控温度。

2.kSA MOS是完整的曲率，应力，反射率和增长率原位测量仪器。 k-Space工程师创建了一个自定义配置，其中包括标准kSA MOS测量和380-1100 nm范围内的光谱反射率监视的功能。

kSA BandiT和kSA MOS均使用kSA技术。

3.kSA 400是功能强大的分析反射高能电子衍射（RHEED）系统，具有先进的软件。该系统捕获静态和实时数据，并使用软件中强大的分析工具来分析RHEED数据。

Veeco将把kSA以上的3种工具整合到多沉积室GEN200 MBE系统中，该系统配置用于生长氮化物。 GEN200是一种高性能，高性价比的多4英寸晶圆生产MBE系统，已在先进的生产MBE设施中使用。

k-Space将于今年夏天交付该集成系统，以便终在客户现场进行安装。我们十分期待该系统在国内能为Veeco用户提供强有力的帮助！